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专利名称一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶
申请日2019-10-30
申请号/专利号CN201911046706.0
专利权人哈尔滨工业大学
申请人哈尔滨工业大学
发明人/设计人闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;王桐
公告日2020-02-04
公告号CN110747433A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶,本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接,多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合,每个隔离圈均由两个半圆环体组成,每两个半圆环体扣合设置在支撑管上,每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接,多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置,异形靶材中部设有空腔,异形靶材的外形为柱状,异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧,水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接,异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应,镀制的薄膜均匀性可以保证,异形靶与多面共体反射镜之间无需运动,缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。
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