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专利名称一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法
申请日2019-10-30
申请号/专利号CN201911046675.9
专利权人哈尔滨工业大学
申请人哈尔滨工业大学
发明人/设计人闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;史文博
公告日2020-01-17
公告号CN110699653A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法,属于金属薄膜制备领域。装置是:X‑Y向位移平台与密封腔盖下表面固接,密封腔盖与升降机构的升降杆固接,升降机构与密封腔外侧壁固接,圆柱形磁控溅射靶上端与X‑Y向位移平台下表面固接,下端设置在转台内,转台设置在密封腔内。方法是:步骤一:运动轨迹规划;步骤二:参数和轨迹微调;步骤三:在转台上可拆卸固定待镀零件,闭合密封腔盖,圆柱靶到达指定位置,抽真空并通入工作气体;步骤四:检测反射率,不合格回到步骤二,调整磁控溅射制备参数,再检测均匀性,不合格回到步骤一调整运动轨迹;若合格,使用当前的磁控溅射参数和运动轨迹批量生产。本发明用于多面共体反射镜的金属薄膜制备。
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