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专利名称一种半导体激光器光栅外腔光谱合束装置
申请日2019-10-31
申请号/专利号CN201911057205.2
专利权人苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
申请人苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
发明人/设计人俞浩;孙舒娟;王俊;廖新胜;李泉灵;潘华东
公告日2020-02-28
公告号CN110854674A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种半导体激光器光栅外腔光谱合束装置,包括:多个单管台阶排布合束模块,用于发出第一合束光束,且各单管台阶排布合束模块呈扇形排布,且旋转90°放置,使第一合束光束的快轴慢轴方向互换;各单管台阶排布合束模块包括多个台阶排布子模块,多个台阶排布子模块用于沿出射光的快轴方向进行光束合束,构成第一合束光束;衍射光栅,用于接收多个单管台阶排布合束模块发出的第一合束光束,并以相同的衍射角衍射输出;外腔镜,用于透射一部分衍射光栅输出的光束,并原路反射另一部分衍射光栅输出的光束,生成反馈光束;各台阶排布子模块接收反馈光束,根据反馈光束确定激光波长。
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