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专利名称一种基于微结构的LCoS微显示器芯片的制备方法
申请日2019-11-06
申请号/专利号CN201911073749.8
专利权人四川大学
申请人四川大学
发明人/设计人李磊;肖亮;李林阳
公告日2020-02-11
公告号CN110780498A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种基于微结构的LCoS微显示器芯片的制备方法,属于液晶光学技术领域。该LCoS光调制器包括硅基底片1、块状电极反射层2、PI取向层3、光刻胶4、间隔子5、上玻璃板6、透明平面电极层7、液晶8、封框胶9、偏振片10。本发明根据电极反射层的块状电极结构为模板制作光刻掩模板,再利用电极反射层对光线进行反射的原理对光刻胶进行对准操作,然后进行曝光显影操作,使得块状电极间隙的光刻胶得到保留,形成聚合物凸起微结构。在像素间隔光刻出的聚合物凸起微结构能够有效消除普通LCoS显示器中边缘场对相邻像素的串扰。在液晶显示、液晶相控等领域有潜在应用。
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