本发明公开了一种面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于硅衬底层上方的氮化物层，氮化物层上设置有作为光源的微LED器件、带有波导的MEMS静电梳齿驱动器、平面波导分路器和用于通电的镍/金电极。本发明体积小，具有高度的集成性，能够实现自由操控平面波导分路器与光源的切断与连通，可应用于光通信网络中，提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。