本发明公开了一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺，该谐振系统包括衬底及置于衬底上的谐振测试系统，该谐振测试系统包括上极板、下极板以及基座；基座位于衬底上表面，上极板包括三角形质量块和至少两根股梁，股梁与三角形质量块连接点之间加入节胫，股梁另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻，并与基座相连；下极板位于衬底上表面的中央，三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙，两者之间加驱动电压，压阻电阻串联于外接电路中。此系统利用静电力驱动和压阻检测的方法，当三角形折叠梁质量块的质量发生改变时，通过检测股梁的振动频率的变化，表征三角形折叠梁质量块的质量变化，此方法可以广泛应用于纳机电的痕量检测中。