描述了用于消除与寄生电容相关联的阻抗的系统和方法。所述系统中的一个包括具有壳体的等离子体室。该壳体包括基座、位于基座上方以面向基座的喷头、以及位于喷头上方的顶板。该系统还包括耦合到等离子体室的射频(RF)传输线，其用于将经改进的RF信号传输到喷头。该系统包括耦合在距顶板预定距离内的分流电路。该分流电路耦合到RF传输线，以消除与壳体内的寄生电容相关联的阻抗。