本发明公开了一种声表面波滤波器的制备方法，包括：在选定的石英压电基片上沉积预定厚度的氧化锌薄膜材料，生成氧化锌薄膜层；并在所述氧化锌薄膜层上实现声表面滤波器的性能指标，获得声表面滤波器。本发明实施例具体是通过在基片材料上制作出合适的压电薄膜，组成多层结构基片，以提高基片的高阻率和机电耦合系数，从而大大降低滤波器的插入损耗；同时减小了声表面波的传播速度，降低声表面波的芯片尺寸，减小器件的体积。