本公开的各个方面描述了使用芯片上的端点临界传感器来测量时序驰豫。传感器电路被附接到芯片上的敏感端点(例如，时序关键路径中的逻辑门)，以便传感器电路接收端点的数据信号和时钟信号。传感器电路通过使数据信号延迟多于时钟信号来在数据信号和时钟信号之间引入偏斜，并且比较偏斜数据信号以确定是否由于引入的偏斜而发生了误差。与芯片在测试模式下的同时测试电路操作相比，通过以不同的延迟量延迟数据信号并且监测哪些延迟会导致误差，针对与芯片上实现的系统相关的电路，在芯片操作期间，数据信号和时钟信号中的时序驰豫量(例如，临界裕量)被测量。