一种利用低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针的工艺，将微米级钨棒安装在夹头中，用滴管将碱性电解液滴在金属圆环上形成液膜，并使微米级钨棒穿过金属圆环（液膜）的中心。直流电源的正负极分别与微米级钨棒和金属圆环连接，接通电源并使安装于压电运动平台上的金属圆环做低频往复振动，带动液膜做低频正弦往复运动（频率：5~100Hz，幅值：0.05~0.15mm）以制备大长径比纳米探针。