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专利名称一种MEMS麦克风
申请日2019-12-18
申请号/专利号CN201911311621.0
专利权人青岛歌尔智能传感器有限公司
申请人青岛歌尔智能传感器有限公司
发明人/设计人刘兵
公告日2020-03-06
公告号CN110868682A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种MSMS麦克风,包括基板;开口端与基板密封固定围成第一封装结构的第一壳体;位于第一封装结构内的包括有平板电容器结构的MEMS芯片,平板电容器结构与第一壳体之间形成第一腔体;以及位于第一壳体外侧的且开口端与基板密封固定围成第二封装结构的第二壳体;所述第一壳体外壁表面与第二壳体内壁表面之间留有间隔距离,所述第一壳体与第二壳体之间形成第二腔体;所述第一壳体上包括有若干贯穿所述第一壳体内外壁表面的透声孔,所述透声孔将第一腔体与第二腔体连通共同形成呈封闭结构的麦克风后声腔;所述基板上包括有用以将MEMS芯片的一侧与外界连通的声孔。该MEMS麦克风可有效增大产品的后声腔,提高产品的灵敏度及SNR等声学性能。
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