本发明涉及MPCVD设备冷却技术领域，公开了一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，包括纵向设置的排气管，还包括排气管外顺次嵌套半径逐渐增大的进水管、出水管，排气管的上端设有基板，基板内靠近排气管的一侧设有集水腔，基板内远离排气管的一侧水平设有热交换腔，热交换腔水平方向的端部与集水腔水平方向的端部对应连通，进水管独立与热交换腔的中部连通，出水管独立与集水腔的中部连通，排气管独立与基板上方连通。本发明解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。