本发明公开了一种超洁净阀，用于半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体输控。所述阀利用超洁净材料包覆永磁体，形成永磁体内嵌式超洁净阀芯，并置于超洁净材料所制而成的流室内，外部驱动元件置于流室外部，依靠磁力实现阀芯运动的非接触式控制，控制阀口启闭与开度。相比于传统电磁阀，该发明避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构，无滑动摩擦副引发的颗粒脱落污染，且所有与介质接触的均为超洁净材料，可满足超洁净需求。相比于现有超洁净阀，无需驱动机构以及阀杆等传动机构与流室之间的隔膜密封，可避免隔膜疲劳破裂引发的泄漏与寿命问题。