本发明为一种利用激光热效应对发生微变形板材进行矫平的方法。根据板材的变形形式，规划不同的激光扫描路径，确定每条路径所需矫平角度，建立单次矫正角度、最高温度与激光功率、扫描速度、扫描间距之间的映射关系，根据所需弯曲角度选择合适的工艺参数，并进行快速预测验证矫平工艺有效性，确定所需有效工艺参数。将待矫平件置于三维数控平台，激光束以选择的工艺参数沿规划的扫描路径进行连续照射，使板材发生弯曲变形，最终实现微变形板材的矫平。该方法适用于形状复杂、高硬度及高脆性变形板材的矫平，在航空航天及微电子领域具有较大应用前景。