本实用新型公开了一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，包括励振装置、金属壳体、加热电阻、MOS传感材料、电极；励振装置粘结固定于金属壳体的下表面，电极贯穿于励振装置和金属壳体，加热电阻固定在电极顶端，处于金属壳体的几何中心，MOS传感材料固定于加热电阻的上表面。通过对励振装置施加激励电压产生振动，振动传至金属壳体，再传至壳体腔内的空气形成声场，声场中的声压驱动空气中的气体分子向MOS传感材料表面运动，以提高传感器的灵敏度及检测精度，且本实用新型结构紧凑,体积小,易于大规模生产和装配。