本发明提供一种超薄零件研磨抛光夹具：在所述研磨抛光夹具的工作面上设置有多个孔通过负压吸附原理夹持超薄零件；所述研磨抛光夹具的工作面上设置有多个孔为规则的。本发明的超薄零件研磨抛光夹具对工件的厚度和尺寸适用范围广，对工件的材料无特殊要求；夹具在装片和卸片时采用气压作为动力，冲击载荷小，工件不易破碎，加工后工件易于清洗；利用多个分散的规则孔对工件进行吸附，优化确定规则孔最优的排列方式和尺寸，夹持过程中应力分布均匀，避免了应力集中导致的工件应力变形；夹具在实际加工中装夹可靠，减少加工中因飞片造成的工件破碎，提高加工的良品率；夹具结构简单，操作方便，具有很好的推广应用前景。