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| 专利名称 | 一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法 |
| 申请日 | 2018-02-09 |
| 申请号/专利号 | CN201810135219.0 |
| 专利权人 | 中北大学 |
| 申请人 | 中北大学 |
| 发明人/设计人 | 石云波;刘俊;孙亚楠;唐军;李杰;赵锐;曹慧亮;黄堃;高晋阳;寇志伟;任建军;赵永祺;赵思晗 |
| 公告日 | 2019-07-05 |
| 公告号 | CN108328568B |
| 法律状态 | 有效 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
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