本发明涉及聚苯醚材料领域，公开了一种低分子量含氟聚苯醚，该含氟聚苯醚具有如式(1)的结构，其数均分子量在5000以下，分子量分布指数在3以下，氟原子当量在400μmol/g以上，羟基当量在300μmol/g以上。该低分子量含氟聚苯醚的制备方法为：将数均分子量在10000以上的聚苯醚、含氟多酚化合物和自由基引发剂在有机溶剂中再分配反应，反应结束后，后处理得到低分子量含氟聚苯醚。所得到的低分子量含氟聚苯醚与环氧树脂共固化，所得复合材料相比于不含氟的同类材料具有更低的介电常数、介电损耗因子和吸水率，更适于高频高速覆铜板的应用。