本发明提供一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法，其中，金刚石在线检测生长装置包括反应腔室、光学相机测量装置、气体存储输送系统和控制装置，所述光学相机测量装置设置在反应腔室的外部，光学相机测量装置透过观察窗口实时的拍摄反映腔室内金刚石的生长情况，并反馈给控制装置的中央处理器，所述中央处理器根据检测结果控制碳源气体混合物和刻蚀气体混合物是否进入反应腔室，能够实时的记录金刚石的生长过程并及时的处理掉生长缺陷，确保金刚石的生长质量和成品率。