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专利名称一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺
申请日2018-10-17
申请号/专利号CN201811210146.3
专利权人西安微电子技术研究所
申请人西安微电子技术研究所
发明人/设计人徐鑫;阮晓明;张明
公告日2019-01-11
公告号CN109186638A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺,差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接,信号输出端与电流积分器的信号输入端连接,电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接,跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接,加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接,V/I转换器的信号输出端输出目标信号,采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制,采用厚膜混合集成电路工艺制造电路,金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装,使电路具有更高可靠性,更优散热性能。
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