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专利名称 | 一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺 |
申请日 | 2018-10-17 |
申请号/专利号 | CN201811210146.3 |
专利权人 | 西安微电子技术研究所 |
申请人 | 西安微电子技术研究所 |
发明人/设计人 | 徐鑫;阮晓明;张明 |
公告日 | 2019-01-11 |
公告号 | CN109186638A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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