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专利名称存储器及其制造方法
申请日2018-10-19
申请号/专利号CN201811224343.0
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人黄胜男;罗清威;李赟
公告日2019-03-26
公告号CN109524407A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种存储器及其制造方法,存储器的制造方法包含:提供一衬底,衬底包括外围区和器件区,器件区上形成有栅极叠层,外围区和器件区上形成有第一控制栅薄膜,第一控制栅薄膜覆盖栅极叠层;在第一控制栅薄膜上形成刻蚀停止层;去除器件区上的刻蚀停止层;在外围区和器件区上形成第二控制栅薄膜;刻蚀器件区上的栅极叠层、第一和第二控制栅薄膜,以形成依次堆叠在器件区上的浮置栅极、栅间介电层和控制栅;去除位于外围区上的第二控制栅薄膜和刻蚀停止层;以及,刻蚀第一控制栅薄膜,以在外围区上形成选择栅,选择栅的高度小于控制栅的高度。本发明可提高选择栅的栅控能力,并确保器件的存储能力和可靠性。
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