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专利名称一种集成电路晶圆传输装置
申请日2018-10-29
申请号/专利号CN201821757421.9
专利权人深圳市奇盛芯片技术研发有限公司
申请人深圳市奇盛芯片技术研发有限公司
发明人/设计人李国英
公告日2019-05-24
公告号CN208903988U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型公开了一种集成电路晶圆传输装置,包括底板,所述底板的上表面左侧两侧均固接有竖板,两个所述竖板之间设有转杆,所述转杆通过第一轴承与竖板转动相连,所述转杆的外壁固定套接有滚筒,所述滚筒的外壁固定套接有皮带,右侧所述竖板的右表面固接有箱体,所述箱体的内部设有电机。该集成电路晶圆传输装置,是进行使用时,通过螺栓、滑杆、压板、皮带之间的配合,计算好集成电路晶圆的厚度,然后通过转动螺栓,来调节压板与皮带之间的间隙,间隙只能通过一个集成电路晶圆,从而不会出现两个或者多个集成电路晶圆重合在一起的情况发生,不会为以后的工序带有影响。
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