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专利名称一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法
申请日2018-11-12
申请号/专利号CN201811341907.9
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人梁中翥;陶金;孟德佳;梁静秋;秦余欣;吕金光;张宇昊
公告日2020-02-07
公告号CN109459146B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域,解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低的问题,包括制备压电谐振器;压电谐振器上依次制备金属反射层、介质层和金属阵列层;制备读出集成电路衬底;连接读出集成电路衬底和压电谐振器。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势;通过在压电谐振器表面集成金属反射层、介质层和金属阵列层,利用金属阵列层实现对红外光谱的增强吸收,吸收能量作用于压电谐振器上,将吸收率提高到80%以上,同时增加了非制冷红外探测器对入射频谱的选择性。该方法所制得的非制冷红外探测器既有传统非制冷红外探测的优点,同时响应快速、探测灵敏度高。
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