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专利名称 | 一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法 |
申请日 | 2018-11-12 |
申请号/专利号 | CN201811341907.9 |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人/设计人 | 梁中翥;陶金;孟德佳;梁静秋;秦余欣;吕金光;张宇昊 |
公告日 | 2020-02-07 |
公告号 | CN109459146B |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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